1、蒸餾法     

目前使用的蒸餾器有玻璃、石英和銅等材料制成，蒸餾法只能除去水中非揮發(fā)性的物質(zhì)，并不能除去溶解在水中的氣體，而且，根據(jù)制備材料不同，所含雜質(zhì)的種類和數(shù)量也不同，比如，用銅蒸餾器，水中會含有少量的銅離子，用玻璃蒸餾器制備，水中會含有少量的鈉離子和硅酸根離子。從經(jīng)濟角度講，蒸餾制水存在著耗水量大、用電成本高等弊病，如果是偏遠(yuǎn)地區(qū)，運輸也會是一個麻煩，尤其是玻璃和石英蒸餾水器。

     2、離子交換法  

用離子交換法制備的純水稱為去離子水，是目前用的比較多的一種方法，一般采用陰、陽離子交換樹脂的混合床裝置，這種方法的優(yōu)點是：成本低、樹脂可再生后反復(fù)使用，制備水量大，去離子能力強，但每種方法都有缺點，反滲透法也不例外，其缺點就是設(shè)備與操作比較復(fù)雜，而且不能除去有機物等非電解質(zhì)雜質(zhì)，并有微量樹脂溶在水中。

      3、滲析法     

滲析也叫滲透法，滲透是在外電場的作用下，利用陰陽離子交換膜對溶液中離子的選擇性透過而使雜質(zhì)離子從水中分離出來，現(xiàn)在用的比較多的是一種反滲透技術(shù)，反滲透能除掉90-99%的絕大多數(shù)污染物，但除去雜質(zhì)的效率比較低，單獨使用的話，只適用于一些要求不是很高的實驗。通常作為一種預(yù)處理手段。

 根據(jù)以上三種制備方法生產(chǎn)的三種水，我們叫做蒸餾水、去離子水和反滲透水，理解了這三種水的概念，那么再去理解“超純水”就很簡單了。超純水所使用的純化技術(shù)和過程簡單如下，第一步和第二步，就是滲析和去離子的一個過程，然后是活性炭過濾（用化學(xué)吸附去除氯，有機吸附除去可溶性有機物）、微孔過濾（或稱亞微米過濾，用一個0.2微米孔徑的膜或者中空纖維濾膜，濾除大于0.2微米的污染物。微孔過濾掉來自碳柱的碳微粒、離子樹脂碎片和任何可能進(jìn)入純化水系統(tǒng)的細(xì)菌）、超濾（用來除去純化水中所有直徑大于0.01微米的微粒、熱源和微生物）。還有一些特別手段，如紫外氧化或光氧化（采用254nm的紫外光除去系統(tǒng)中的細(xì)菌）等等。