一、潔凈室的定義

    潔凈室（Clean Room）是指空氣無塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。潔凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無塵度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

    二、潔凈室的結(jié)構(gòu)組成

    潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

    （1）天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁；

    （2）空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等；    （3）隔墻板：包括窗戶、門；

    （4）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板；          （5）照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；

    潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

    A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；   B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

    C.吸濕性小；                         D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；

    以上信息概括為：①組合式FFU機(jī)組②無塵送風(fēng)管道�、蹮o塵回風(fēng)管道④送風(fēng)靜壓箱⑤高效過濾器⑥多孔擴(kuò)散板⑦潔凈室吊頂⑧潔凈室隔斷 ⑨高效送風(fēng)口⑩新風(fēng)口

    三、潔凈室的等級(jí)

    1、潔凈室等級(jí)世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。

    2、209E與209D等最大的不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以ㄆM′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3……依此類推，配合國(guó)際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間，則以1.5、2.5、3.5…表示。

    3、美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英？為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

    四、潔凈室控管的項(xiàng)目

    1.能除去空氣中飄游的微塵粒子。       2.能防止微塵粒子的產(chǎn)生。       3.溫度和濕度的控制。

    4.壓力的調(diào)節(jié)。                       5.有害氣體的排除。         6.結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。

    7.靜電的防制。       8.電磁干擾預(yù)防。        9.安全因素的考慮。      10.節(jié)能的考量

    五、潔凈室之分類

    5.1亂流式（Turbulent Flow）

    空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

    優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。

    缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之無塵度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

    5.2層流式（Laminar）

    層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：

    （1）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

    優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

    缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

    （2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無塵度，在制程  中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛�不會(huì)影響其它工作區(qū)域。

    優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

    缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

    5.3復(fù)合式（Mixed Type）：

    復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超無塵之空氣。

    （1）無塵隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使無塵度等級(jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

    無塵隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

    （2）無塵管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將無塵度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無塵度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

    （3）并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無塵度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；無塵工作臺(tái)、無塵工作棚、無塵風(fēng)柜即屬此類。

    無塵工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。

    無塵工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之無塵空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。

    六、潔凈室氣流之流動(dòng)

    潔凈室的無塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。

    潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持無塵空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

    潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的無塵度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。

    另一方面欲達(dá)到潔凈室無塵度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高無塵度事實(shí)上很困難。

    垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

    影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。

    一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至�，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。

    潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之無塵度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

    七、潔凈室工程施工

    1.潔凈室施工應(yīng)在土建工程完成，清潔好現(xiàn)場(chǎng)后進(jìn)行

    2.潔凈室施工應(yīng)按一定程序進(jìn)行，就避免系統(tǒng)安裝時(shí)的帶塵作業(yè)，安裝高效過濾器或送風(fēng)末端時(shí)，必須避免帶塵作業(yè)。

    3.潔凈室施工程序見下圖（其他輔助用房可參照此程序）。

    4.施工安裝過程中必須隨時(shí)做好以下記錄

    （1）土建隱蔽工程記錄（2）管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄（3）設(shè)備開箱檢查記錄（4）管道壓力試驗(yàn)記錄   （5）管道純氣系統(tǒng)吹洗記錄 （6）風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄（7）風(fēng)管清掃記錄（8）設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄       （9）系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄   （10）中間驗(yàn)收單

    八、潔凈室工程評(píng)定

    潔凈室工程驗(yàn)收，一般由法人組織驗(yàn)收平定組進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查�，F(xiàn)場(chǎng)檢查發(fā)現(xiàn)的工程缺陷分為嚴(yán)重缺陷和一般缺陷：凡關(guān)鍵項(xiàng)目不完整、不齊全的屬嚴(yán)重缺陷；凡一般項(xiàng)目不完整、不齊全的屬一般缺陷。

    驗(yàn)收時(shí)不應(yīng)有嚴(yán)重缺陷，一般缺陷比例不超過檢查項(xiàng)目的20%。

    如果雖然無嚴(yán)重缺陷，但一般缺陷超過20%～40%，或嚴(yán)重缺陷不超過3項(xiàng)，一般缺陷比例不超過20%，一般會(huì)限期改正。嚴(yán)重缺陷和一般缺陷超過以上數(shù)值，通過的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢測(cè)檢查。

    九、無塵車間設(shè)計(jì)及驗(yàn)收規(guī)范

    無塵車間作為一個(gè)“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn)，盡管任何建筑工程都包括設(shè)計(jì)、竣工驗(yàn)收、日常維護(hù)等環(huán)節(jié)，但是無塵車間還需要通過調(diào)試、檢測(cè)和綜合評(píng)價(jià)予以確認(rèn)，絕不可草率行事，匆匆投入運(yùn)營(yíng)。

    9.1無塵車間設(shè)計(jì)內(nèi)容有：

    1.合理布置工藝流程和建筑平面；

    2.選擇滿足無塵車間特點(diǎn)的建筑構(gòu)造和材料；

    3.無塵車間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂��?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源；

    4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；

    5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備；

    無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。

    9.2 無塵車間各項(xiàng)工程的外觀檢查應(yīng)符合以下要求：

    1. 各種管道、自動(dòng)滅火裝置及空氣凈化設(shè)備的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密；

    2.高、中、初效過濾器與支撐框架的連接以及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)可靠密封；

    3. 各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、靈活、操作方便；

    4. 各種空氣凈化設(shè)備、靜壓箱、通風(fēng)系統(tǒng)等要清洗干凈，確保無塵；

    5. 無塵車間的內(nèi)墻壁、頂棚表面、地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻、不起灰塵、地板靜電等；

    6. 送、回風(fēng)口及各類末端裝置、這類管道、照明和動(dòng)力線配管等穿越無塵車間時(shí)，穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠；

    7. 無塵車間內(nèi)的各種刷涂、保溫工程等應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定；

    9.3 無塵車間竣工驗(yàn)收所需文件：

    1. 設(shè)計(jì)文件、設(shè)計(jì)變更說明文件及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；

    2. 主要材料、設(shè)備和調(diào)節(jié)裝置、自動(dòng)控制系統(tǒng)等出廠合格證書或檢驗(yàn)文件；

    3. 各項(xiàng)工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定表；

    4. 開工、竣工報(bào)告、土建隱蔽工程系統(tǒng)和管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、設(shè)備開箱檢查記錄、管道壓力實(shí)驗(yàn)記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗(yàn)收單和竣工驗(yàn)收單；

    5. 無塵車間里面的各種設(shè)備性能指標(biāo)記錄

    9.4 無塵車間綜合性能評(píng)價(jià)：

    無塵車間竣工驗(yàn)收工作完成后，一般應(yīng)由具有相關(guān)資質(zhì)或相關(guān)授權(quán)具有無塵車間檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)、擁有先進(jìn)完備的檢測(cè)儀器、儀表的第三方來主持無塵車間的檢測(cè)工作，承建方、設(shè)計(jì)、施工、監(jiān)管單位應(yīng)在現(xiàn)場(chǎng)配合，以完成對(duì)無塵車間的綜合性能評(píng)價(jià)。

    9.5總結(jié)

    無塵車間的設(shè)計(jì)、施工、安裝、維護(hù)等一定按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO 14644的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行，必須做到無塵、無菌、節(jié)能、防火、安全

    附、潔凈室國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

    1.潔凈室的國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

    （1）。無塵廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001[2]

    （2）。醫(yī)院無塵手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002

    （3）。醫(yī)藥工業(yè)無塵廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008

    （4）。傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范

    （5）。醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測(cè)試方法GB/T16292-1996

    （6）。QS認(rèn)證質(zhì)量手冊(cè)

    （7）。GMP藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范

    2.潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

    （1）IS014644-1空氣無塵度等級(jí)劃分【3】

    （2）IS014644-2為認(rèn)證IS014644-1的連續(xù)的相符性的測(cè)試和檢測(cè)技術(shù)要求

    （3）IS014644-3測(cè)試方法

    （4）IS014644-4設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

    （5）IS014644-5運(yùn)行

    （6）IS014644-6術(shù)語和定義

    （7）IS014644-7分離裝置（無塵空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設(shè)備）

    （8）IS014644-8分子污染